和微懸臂梁的質量敏感效應，可檢測到飛克量級的質量變化。因此，微懸臂梁在以分子間特異性吸附為基本敏感機理的化學、生物量微光電開關傳感器中，具有非常好的應用前景。例如，將核酸之間的雜交或抗體與抗原之間的特異性結合轉換為微懸臂梁諧振頻率的變化，可間接感知生物分子之間的識別和結合。該檢測方法無需傳統免疫分析中必不可少的本科、同位素、熒光等標記物，即可實現對核酸分子雜交或抗與抗原特異性結合的檢測和分析。

　　基于諧振原理的微懸臂梁式化學微傳感器原理是懸臂梁上固定一層對被測分子有特異結合性質的分子探針，當懸臂梁在被測環境中工作時，分子探針與被測子發生特異性結合，使得懸臂梁的等效質量發生改變，從而影響懸臂梁的諧振頻率。通過測量諧振頻率的改變情況，即可檢測到分子探針與被測分子之間相互作用的過程。

　　對表面吸附的檢測可以有兩種方式：一種是靜態的，即檢測分子吸附所導致的懸臂梁彎曲變形;另一種則是動態的，即檢測懸臂梁的諧振頻率偏移。