石英振子式氣體接近開關傳感器由直徑為數微米的石英振動盤和制作在盤兩邊的電極構成。當振蕩信號加在器件上時，器件會在它的特征頻率發生共振。振動盤上淀積了有機聚合物，聚合物吸附氣體后，使器件質量增 加，從而引起石英振子的共振頻率降低，可通過測定共振頻率的變化來識別氣體。利用這個原理制成的石英振子式氣體接近開關傳感器，對特定氣體分子的靈敏度高，選擇性好，結構簡單，可在常溫下使用，補充了其他氣體接近開關傳感器的不足，發展前景良好。