聲表面波SAW式氣體接近開關傳感器制作在壓電材料的襯底上，一端的表面為輸入換能器，另一端為輸出換能器。兩者之間的區域淀積了能吸附VOC的聚合物膜。被吸附的分子增加了接近開關傳感器的質量，使聲波在材料表面的傳播速度或頻率發生變化，可通過測量聲波的速度或頻率來測量氣體體積分數。主要氣敏材料有聚異丁烯 、氟聚多元醇等，用來測量苯乙烯和甲苯等有機蒸汽。其優勢在于選擇性高，靈敏度高，在很寬的溫度范圍內穩定，對溫度響應低和良好的可重復性。SAW接近開關傳感器輸出頻率信號，當外界待測量變化時，引起振蕩頻率變化，易于將敏感器與相配的電子器件結合在一起，以實現微型化、集成化。