接近開關(guān)非電阻式半導體所系元件有MOS二極管式、結(jié)型二極管式和場效應管式等。其電流或電壓隨氣體含量而變化，主要檢測氫和硅烷氣等可燃性氣體。其中，MOSFET接近開關(guān)氣體傳感器工作原理是揮發(fā)性有機化合物VOC與催化金屬接觸發(fā)生反應，反應產(chǎn)物擴散到MOSFET的柵極，改變了元件的性能�？赏ㄟ^分析元件性能的變化識別VOC。通過改變催化金屬的種類和膜厚，可優(yōu)化靈敏度和選擇性，并可改變工作溫度。MOSFET氣體接近開關(guān)傳感器靈敏度高，但制作工藝比較復雜，成本高。