濕度是指大氣中的水蒸氣含量，通常采用絕對(duì)濕度和相對(duì)濕度兩種表示方法。絕對(duì)濕度是指在一定溫度和壓力條件下，每單位體積的混合氣體中所含水蒸氣的質(zhì)量，單位為g/m3，一般用符號(hào)ah表示。相對(duì)濕度是指氣體的絕對(duì)濕度與同一溫度下達(dá)到飽和狀態(tài)的絕對(duì)濕度之比，一般用符號(hào)%rh表示。相對(duì)濕度給出大氣的潮濕程度，它是一個(gè)無(wú)量綱的量，在實(shí)際使用中多使用相對(duì)濕度這一概念。
　　濕敏傳感器是能夠感受外界濕度變化，并通過(guò)器件材料的物理或化學(xué)性質(zhì)變化，將濕度轉(zhuǎn)化成有用信號(hào)的器件。濕度檢測(cè)較之其他物理量的檢測(cè)顯得困難，這首先是因?yàn)榭諝庵兴�蒸氣含量要比空氣少得多。另外，液態(tài)水會(huì)使一些高分子材料和電解質(zhì)材料溶解，一部分水分子電離后與溶入水中的空氣中的雜質(zhì)結(jié)合成酸或堿，使?jié)衩舨牧喜煌�程度地受到腐蝕和老化，從而喪失其原有的性質(zhì)，再者，濕度信息的傳遞必須靠水對(duì)濕敏器件直接接觸來(lái)完成，因此濕敏器件只能直接暴露于待測(cè)環(huán)境中，不能密封。通常，對(duì)濕敏器件有下列要求，在各種氣體環(huán)境下穩(wěn)定性好、響應(yīng)時(shí)間短、壽命長(zhǎng)、有互換性、耐污梁和受溫度影響小等。微型化、集成化及廉價(jià)是濕敏器件的發(fā)展方向。